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公司新聞

《科技與創新》安堉創新科技傅振昌 打造國產半導體設備供應鏈

台灣作為全球LED與半導體晶片生產重鎮,長期仰賴國外昂貴生產設備,不只讓成本居高不下,技術發展也因此受限。現在這個讓業界困擾已久的痛點,在工研院新創公司,安堉創新科技的創新研發下,可望有所突破。

工程系統出身,安堉創新科技總經理傅振昌(上圖中坐者)自美國學成歸國後,就進入新竹科學園區工作,後來到工研院任職,這一待就是10多年。在這段時間,他下功夫研究許多工具機與相關設備,發現國內半導體產業產值雖占台灣GDP比重高,但無論機組設備或是零組件幾乎都來自國外,很少是由本土自製。

「國外機械工藝技術能量都是累積多年而成,精緻度很難被複製,如果台灣現在沒有投入研發相關技術,未來只會更落後,」身處於強調創新與前瞻研究的工研院,激發傅振昌找出突破點的決心,第一步就從「有機金屬化學氣相沉積設備(MOCVD)磊晶設備」開始著手。

軟硬整合 活化舊有機台

MOCVD是LED與半導體產業最為重要且複雜的製程設備,其中氣體噴灑頭(Showerhead)更是決定MOCVD機台生產良率的關鍵零組件,當中就包含精密製造、流體跟氣體研究等尖端技術,而這些技術恰好都是台灣廠商的強項,「既然如此,我們何不朝這個方向試試看?」於是傅振昌便率領團隊,開始投身噴灑頭軟硬整合的技術研究。

經過多年的潛心鑽研,傅振昌與團隊研發出「氣體噴灑模組」,裝入既有的MOCVD設備機台進行製程測試,能讓磊晶品質有效提升,關鍵就在於將2種氣體噴灑在基板上形成磊晶的方式。傳統噴灑頭是以雙管同時噴出,團隊研發的創新噴灑方式則是利用一個同心圓管,分成內、外雙圈來噴灑,氣體沉積形成的表面分布均勻,讓終端產品的亮度與光譜效果更勝以往。

與之搭配的軟體研究也大有斬獲,原本MOCVD設備就像是個黑盒子,磊晶人員將所有材料放進去後,只能等待最後結果出爐,傳統作法就是一直試、一直試,從錯誤的結果中調整溫度、壓力、流量與轉速等各項生產參數,耗費材料與人力不說,往往還要花上1到2周時間,才能試出「可能是最佳配方」的結果。為了改善尋找最佳配方的效率,傅振昌與團隊開發出「可視化磊晶製程優化軟體」,可實際觀測MOCVD腔體內的熱流層與氣流層變化,協助磊晶人員找到最佳化製程參數,就像把「黑盒子變得透明」!不僅製程準確性提高,更將開發時間縮短為2小時,這項頂尖技術,讓團隊在2017年獲得素有科技界奧斯卡獎之稱的「全球百大科技研發獎(R&D 100 Awards)」的殊榮。

開發LED終端產品 用實力說服客戶

「創業本來不在我的人生規劃之中,」傅振昌表示,工研院的工作環境理想,是創新研發者的天堂,但團隊鑽研MOCVD研究長達7、8年,技術實力頗受肯定,產業也有所需求,若是就此中斷非常可惜,加上這項技術對於台灣未來發展Micro LED、Mini LED都相當有利,「如果因為我們的解決方案能讓台灣在LED產業再創高峰,就不應該錯過這個機會。」

多方力量促成傅振昌走上創業之路,2018年6月安堉創新科技成立。而自公司成立1年來,團隊也持續研發MOCVD另一個關鍵零組件-加熱器(Heater),以求精準控制溫度,除了優化製程系統軟體,更加入人工智慧與大數據等技術,並針對材料部分進行研究,研發的腳步從不停歇,就是要讓做出來的磊晶品質更上層樓。

傅振昌進一步表示,現行MOCVD設備若老舊只能整台淘汰,但一台往往動輒數千萬元,所費不貲;而安堉的軟硬體整合模組解決方案,較外商品牌設備購置成本節省10幾倍,廠商不僅不用花大錢重建生產線,舊有設備也不用束之高閣,直接升級就能製作出Micro LED或Mini LED等級產品,相當符合經濟效益。

照理來說這樣划算的設備,對國內磊晶廠商而言可說是「大利多」,「起初我們很有信心,覺得研發出來的模組表現好,一定很好賣。」然而在勤跑潛在客戶之後,傅振昌才發現完全不是那麼回事:無論他們再怎麼強調模組功能有好、可以省下多少,廠商還是滿肚子疑問,「對客戶而言,品質穩定設備或零組件才是最重要的,突然要更換新模組,對投資龐大的半導體業來說,風險大到難以承擔。」

「不如我們就做給客戶看,」傅振昌在股東支持下,用自己的解決方案在工研院內打造小型的FAB廠,製作出品質優異的UVC LED及Mini LED晶片,更進一步以UVC LED做出第一款消費性產品「UVC LED行動殺菌模組」。經此模組照射過的物品,紫外光能有效破壞細菌的基因,使其無法複製,殺菌效果高達99.9%。安堉還開發了專屬APP,不用送檢驗,可以立即看出使用前後的細菌量,在居家與醫用市場都深具潛力,也讓客戶看見安堉解決方案的優異性能。

企業定位清晰 助本土機械廠升級

從研發人轉換成經理人,傅振昌一路走來可說是披荊斬棘。早在創業之初,他就認定安堉未來是以LED與半導體產業為目標市場勇往直前,而自己的角色則聚焦在技術層面,並效法台積電創辦人張忠謀,扮演好專業經理人,誠信地對待投資者與客戶,讓大家都能獲利,也促使整體產業向上提升。

傅振昌表示,創業後接觸到許多本地優秀工具機與機械廠商,這些中小企業的隱形冠軍,均期待有產業升級的機會,如今安堉與這些夥伴合作,除了能協助其切入半導體業設備製造的供應鏈市場,也希望能藉此翻轉半導體業者長期非買外商設備不可的現象。安堉現正積極申請進駐竹科園區,準備打造自己的Fab廠來證明實力;技術上則持續與工研院合作,開發MOCVD關鍵零組件。

安堉是以MOCVD關鍵零組件為技術核心,如果能打進外商設備廠零組件供應鏈,豈不輕鬆許多?傅振昌認為長期來說並不排斥,但這樣做公司成長性有限,他有更遠大的目標:「安堉不光是要跟國外設備商比,更要開發自家LED終端產品,進一步行銷全世界。」堅定的眼界,似乎已經預示,一個台灣本土產業的明日之星,正在慢慢崛起。

安堉 快攻LED設備 優化製程 奪科技大獎
經濟日報每周日推出「隱形冠軍」系列報導,介紹台灣成功中小企業的發展故事,這些企業大家未必熟悉,但他們正在譜寫一頁傳奇,或許將有機會成為下一個在全球發光發亮的台積電。
安堉創新科技去年才從工研院分割獨立,產品專攻LED產業核心關鍵設備,也就是有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)機台中的氣體噴灑模組(Showerhead),而且還搭配自行開發的軟體系統,協助客戶找到製程參數的最佳配方。對於安堉而言,不只希望產品滿足客戶需求,更希望後續獲得原廠青睞,在台灣與合作夥伴共同建立本土供應鏈。
安堉總經理傅振昌表示,目前產業界對於半導體上下游供應鏈的投資意願很高,但對於上游關鍵設備的投入與關注相對少。在LED生產線中,最重要的設備就是MOCVD,這攸關晶粒的品質,目前主要供應商只有美國、德國的兩家廠商,日本廠商的設備出口更受限制,陸廠近年則是在小尺寸腔體的MOCVD設備方面取得一些成果,台灣相關廠商較少。
傅振昌出身工研院機械所,研究精密機械系統相關題目已有七、八年。他提到,工研院重視基礎工業技術扎根與發展,鼓勵去做大家不敢做的事情,氣體噴灑模組對於MOCVD機台的產出表現很重要,當初評估後認為有能力去做,且MOCVD氣體噴灑頭等相關零組件通常都是由原廠的歐美供應商製作,因此選定MOCVD的氣體噴灑頭研究切入。
在MOCVD機台出貨時,氣體噴灑模組已經建置在內,傅振昌簡單解釋,家中浴室的蓮蓬頭通常拿來噴水,而MOCVD的噴灑頭則用來噴出氣體,是設備中重要的關鍵零組件。既有設備如果要噴灑兩種氣體,在基板上形成磊晶,是採用雙管同時噴出的方式,但安堉的方案則是兩種氣體利用一個同心圓管,分內外圈來噴灑,混合效果較好,氣體沉積所形成的表面會更為均勻分布。噴灑頭的設計會影響表面的均勻度,進而影響最終產品的品質、亮度或光譜等。
傅振昌舉例,這就好比射箭時要兩箭同時命中靶心,別人的方案是由兩個選手分別但同時射向一個靶,比較容易有錯失。安堉是由同一個選手同時射出兩箭,而且兩支箭在射出去的瞬間就合為一體,命中靶心的機率因此高很多。
傅振昌等人在工研院多年的努力,逐步展現成果,其MOCVD氣體噴灑模組獲得2014年的國家發明獎,後續其CyperEpi可視化設計驗證軟體,更在2017年獲得素有「科技界奧斯卡獎」之稱的R&D 100獎。
傅振昌說,他在工研院工作多年,如果不創業,其實可以繼續做到退休,但如此一來,苦心鑽研的技術就無法發揚光大,團隊也沒有更大的舞台可以發揮,甚為可惜,這是促使其從工研院分割獨立安堉的推力。同時,R&D 100獎鼓勵將技術轉化為商品,在技術開發過程中也得到很多外界的回饋,認為這值得投入生產,這則是促成安堉的拉力。

安堉關鍵零組件 打開市場
安堉的氣體噴灑模組(Showerhead)是創新的MOCVD關鍵零組件,安堉總經理傅振昌表示,目前國內尚無相同設計可導入產業應用,與目前原廠設備零組件相比,性能更好、更具經濟效益,可讓使用的氣體流量減少一成,降低相關成本,也提升磊晶均勻性一倍,在不更動原先設計下,安裝容易,並可延長模組壽命,保養時間可從半年延長為一年。
傅振昌提到,安堉的可視化磊晶製程優化系統,能協助磊晶廠找到最佳化製程參數,縮短產品研發周期,相較之下,MOCVD原廠所附的資料庫,並不具備如安堉提供的磊晶製程預測功能。磊晶製程人員經由安堉這套系統,獲得製程參數的時程可從原先一星期,縮短到2小時。
安堉上述產品已取得多件相關專利,並與工研院持續合作,在用噴灑頭證明技術實力之後,後續開發MOCVD加熱器等零組件。
傅振昌表示,國外MOCVD設備商起步較早,安堉在策略上聚焦於噴灑頭、加熱器、磊晶軟體的軟硬整合技術,目前還不做整機技術,但彈性提供廠商磊晶模組的客製化設計開發,讓客戶有更多內部製程參數掌握度,可確保技術留在自家磊晶廠內。
對於MOCVD氣體噴灑模組的業務擴展機會,傅振昌表示,主要客戶鎖定磊晶廠、原廠設備廠及通路商等,短期內希望努力打入國內磊晶廠供應鏈,中期則期望能通過原廠硬體模組認證,如果成功打入原廠供應鏈,將是首家達陣的台廠,後續可進一步爭取參與成為新機台零組件供應商的機會。該公司明年也規劃與國外的終端業者進行Micro LED與UVC LED的產品應用交流。
至於可客製化的CyberEpi+AI軟體,安堉則希望擴展LED、無線通訊與太陽能等領域的客戶,並提供相關顧問服務。

公司簡介
2018年6月創立於新竹市,由一群工研院Spin-Off的磊晶專家所組成,專注於Showerhead裝置設計、模擬分析及可靠度等技術超過10年。
主力研發MOCVD軟硬體關件模組Showerhead關鍵零組件硬體及CyperEpi可視化設計驗證軟體,解決磊晶場缺乏MOCVD相關人才和庫存的問題。

公司基本資料

統一編號 42731302   
公司狀況 核准設立 
公司名稱 安堉創新科技股份有限公司 (出進口廠商英文名稱:NEW UP INNOVATION TECHNOLOGY CORP.) 
章程所訂外文公司名稱 NEW UP INNOVATION TECHNOLOGY CORP.
資本總額(元)  
實收資本額(元) 43,107,500
每股金額(元) 無票面金額
已發行股份總數(股) 53,750,000
代表人姓名 傅振昌
公司所在地 新北市新店區中興路2段196號3樓 
登記機關 新北市政府
核准設立日期 107年06月21日
最後核准變更日期 110年03月15日
複數表決權特別股
對於特定事項具否決權特別股
特別股股東被選為董事、監察人之禁止或限制或當選一定名額之權利      有
所營事業資料 F119010  電子材料批發業
I501010  產品設計業
I301010  資訊軟體服務業
I301020  資料處理服務業
F113030  精密儀器批發業
F113070  電信器材批發業
IG02010  研究發展服務業
IZ99990  其他工商服務業
I199990  其他顧問服務業
CC01080  電子零組件製造業
CC01110  電腦及其週邊設備製造業
F401010  國際貿易業
ZZ99999  除許可業務外,得經營法令非禁止或限制之業務
 

董監事持股

序號 職稱 姓名 所代表法人 持有股份數(股)
0001 董事長 傅振昌   11,950,000
0002 董事 李聖文   35,800,000
0003 董事 李俊霖   0
0004 監察人 張蓉蓉   0
 

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